有效

一种金属氧化物场效应晶体管及其制作方法

刘宇、刘明、胡媛、张凯平、张培文、路程、赵盛杰、刘琦、吕杭炳、谢常青
中国科学院微电子研究所
刘宇机构 暂无
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刘明机构 暂无
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胡媛机构 暂无
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张凯平机构 暂无
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张培文机构 暂无
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路程机构 暂无
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赵盛杰机构 暂无
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刘琦机构 暂无
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吕杭炳机构 暂无
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谢常青机构 暂无
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摘要

本发明涉及半导体技术领域,尤其涉及一种金属氧化物场效应晶体管的制作方法,包括:在衬底上由下至上依次形成有绝缘层、第一电极、牺牲层、第二电极、结构层,牺牲层的厚度按照沟道的预设长度来确定;刻蚀牺牲层的边缘,使得在牺牲层的边缘以及在第一电极与第二电极之间形成横向沟槽;在横向沟槽内形成金属氧化物半导体层,使得横向沟槽形成金属氧化物的沟道;在所述沟道所在的区域形成栅电极,通过牺牲层的厚度来控制沟道长度,通过控制沟道的长度,使场效应晶体管对操作电压进行有效控制。