一种SF6分解组分的红外光声光谱定量分析方法

本发明公开了一种SF6分解组分的红外光声光谱定量分析方法，该方法包含如下步骤：制备不同浓度的待测标准气体；配置气体光声检测系统的测试参数；在预设环境条件下，将待测标准气体充入所述气体光声检测系统的光声池中，记录对应待测标准气体的光声信号值；分析待测标准气体的气体浓度与对应的光声信号值的关系，获得光声信号值的幅值与待测标准气体的体积分数之间的关系曲线。本发明方法通过测量试样气体因吸收光能而产生的光声信号强度，能够间接检测出SF6分解组分中微量气体的浓度。