1.一种导向叶片全流道面气相沉积用支撑装置,其特征在于,包括连接杆(1)和L型连接板(3),L型连接板(3)包括垂直段(3-3)和水平段(3-4),垂直段(3-3)和水平段(3-4)固定连接且相互垂直;连接杆(1)的一个端部和垂直段(3-3)固定连接,另一端连接有气相沉积装置的旋转轴(11);水平段(3-4)上连接有夹持装置,夹持装置中夹装有导向叶片(8);导向叶片(8)的轴线方向和旋转轴(11)的轴线方向垂直;水平段(3-4)上固定连接有自转轴承装置(4),自转轴承装置(4)和夹持装置转动连接;夹持装置包括外缘板防护盒(5)和内缘板防护盒(7),二者通过连接螺杆(9)固定连接,导向叶片(8)卡装在外缘板防护盒(5)和内缘板防护盒(7)之间;外缘板防护盒(5)包括中心转轴(5-2)和第一连接板(5-6),中心转轴(5-2)的上端和自转轴承装置(4)中轴承(4-2)的内圈固定连接,中心转轴(5-2)的下端和第一连接板(5-6)连接;内缘板防护盒(7)包括第二连接板(7-4),第二连接板(7-4)为平行四边形;第二连接板(7-4)的四周均设置有第二侧板(7-2),第二侧板(7-2)垂直于第二连接板(7-4);导向叶片(8)的内缘板(8-5)卡装在四个第二侧板(7-2)形成的空腔内;第二连接板(7-4)上设置有第二支撑螺母(6-2),第二支撑螺母(6-2)穿过第二连接板(7-4)抵住导向叶片(8)的内缘板(8-5)。
2.根据权利要求1所述的一种导向叶片全流道面气相沉积用支撑装置,其特征在于,第一连接板(5-6)为平行四边形,第一连接板(5-6)的四周均设置有第一侧板(5-4),第一侧板(5-4)垂直于第一连接板(5-6);导向叶片(8) 的外缘板(8-4)卡装在四个第一侧板(5-4)形成的空腔内;第一连接板(5-6)上设置有第一支撑螺母(6-1),第一支撑螺母(6-1)穿过第一连接板(5-6)抵住导向叶片(8)的外缘板(8-4)。
3.根据权利要求1所述的一种导向叶片全流道面气相沉积用支撑装置,其特征在于,第一侧板(5-4)的外边沿为弧线;导向叶片(8)的外缘板(8-4)和叶身连接处的弧线变化规律和第一侧板(5-4)的外边沿的弧线变化规律相同;第一侧板(5-4)的宽度和外缘板(8-4)的宽度相同。
4.根据权利要求1所述的一种导向叶片全流道面气相沉积用支撑装置,其特征在于,第二侧板(7-2)的外边沿为弧线;导向叶片(8)的内缘板(8-5)和叶身连接处的弧线变化规律和第二侧板(7-2)的外边沿的弧线变化规律相同;第二侧板(7-2)的宽度和内缘板(8-5)的宽度相同。
5.一种权利要求1-4任意一项所述的导向叶片全流道面气相沉积用支撑装置的使用方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤1,通过丙酮清洗导向叶片(8)和夹持装置;步骤2,将导向叶片(8)夹装在夹持装置中;步骤3,沉积涂层;步骤3.1,将连接杆(1)和旋转轴(11)连接,将夹持装置通过旋转轴(11)放置于气相沉积装置中;步骤3.2,气相沉积装置抽真空后开始沉积涂层;步骤3,沉积涂层过程中,旋转轴(11)带动连接杆(1)、L型连接板(3)、夹持装置和导向叶片(8)共同围绕旋转轴(11)的轴线转动;步骤4,破真空后,将连接杆(1)、L型连接板(3)和夹持装置共同取出,将导向叶片(8)从夹持装置中卸除。
6.根据权利要求5所述的使用方法,其特征在于,步骤3中,转动过程中,导向叶片(8)的轴线与垂直段(3-3)的夹角为±15°时,旋转轴(11)的转速为20~30rpm;导向叶片(8)的轴线与垂直段(3-3)的夹角为其他角度时,旋转轴(11)的转速为10~15rpm。