二氧化钛薄膜的制备方法

1.二氧化钛薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）对原材料进行清洁钛材料为纯钛/钛合金材料，去除表面杂质与氧化膜后，依次采用丙酮、酒精、去离子水对钛材料表面进行反复清洗；（2）钛材料的烘干与加热将钛材料放置于可通入流动性气体的石英反应炉内，通入氩气，排除炉内空气，并保持氩气的持续通入；将炉温升高烘干钛材料，然后根据欲获得不同反应产物与表面结构的需要，将炉温升至特定的温度；（3）钛表面的水淬处理炉温升至特定温度后，打开纯净水喷头阀门，以1ml/m 2 -1000ml/m 2 的流速将纯净水均匀喷涂在钛材料表面；纯净水喷涂需要一定时间间隔，间隔时间长度根据反应需求选择在1秒至120秒之间；具体过程为，根据对所需获得的TiO 2 层厚度、相及形貌的不同需合理选择反应温度、喷涂流速、与喷涂时间，具体为：240℃-350℃，纯净水喷涂流速为1ml/m 2 -200ml/m 2 ，时间间隔1秒至30秒，喷涂次数1-200次，获得100nm-240μm厚度，颗粒状锐钛矿型TiO 2 薄膜层；350℃-740℃，纯净水喷涂流速为1ml/m 2 -400ml/m 2 ，时间间隔1秒至60秒，喷涂次数1-200次，获得1μm-2mm厚度，颗粒状锐钛矿/金红石混晶型TiO 2 薄膜层；740℃-1400℃，纯净水喷涂流速为1ml/m 2 -1000ml/m 2 ，时间间隔1秒至120秒，喷涂次数1-200次，获得1μm-10mm厚度，表面出现针状结构的金红石型TiO 2 薄膜层。 2.根据权利要求1所述的二氧化钛薄膜的制备方法，其特征在于，步骤（2）具体过程为，对石英反应炉内以2ml-1500ml/s的速率通入氩气，排除炉内空气，并保持氩气的持续通入以保证炉内氩气正压力，防止空气倒流；将炉温升至140℃并保温1小时烘干，然后根据欲获得不同反应产物与表面结构的需要，将炉温升至240℃-1400℃之间特定的温度。 3.根据权利要求1或2所述的二氧化钛薄膜的制备方法，其特征在于，所述的针状结构的金红石型TiO 2 薄膜层的生长调控，通过增加喷涂次数，提高该针状金红石型TiO 2 的数量；通过提高反应温度与喷涂纯净水的流速，提高该针状金红石型TiO 2 的体积与长度。