有效

阻变存储器的制备方法

卢年端、姜文峰、李泠、耿玓、刘琦、吕杭炳、刘明
中国科学院微电子研究所
卢年端机构 暂无
技术领域 暂无
姜文峰机构 暂无
技术领域 暂无
李泠机构 暂无
技术领域 暂无
耿玓机构 暂无
技术领域 暂无
刘琦机构 暂无
技术领域 暂无
吕杭炳机构 暂无
技术领域 暂无
刘明机构 暂无
技术领域 暂无

摘要

本发明公开了一种阻变存储器的制备方法,包括:提供衬底;在所述衬底的上表面沉积第一金属层;在所述第一金属层的上表面沉积阻变功能层;在所述阻变功能层的上表面沉积具有低迁移率的材料层;在所述具有低迁移率的材料层上制备一个以上通孔;在所述具有低迁移率的材料层的上表面沉积第二金属层。本发明提供的阻变存储器的制备方法,制备出的阻变存储器可以控制导电细丝的大小。由于导电细丝的生长方位、数量以及大小均可以控制,因而能够降低导电细丝生长的随机性,减小所述阻变存储器的电流波动性,从而减小所述阻变存储器的参数波动,提高所述阻变存储器的可靠性。