1.一种适用于扫描/透射电子显微镜成像的自动聚焦方法，其特征在于，包括如下步骤：将样品放置在扫描/透射电子显微镜的样品室内；设置所述扫描/透射电子显微镜的成像参数、以及物镜/聚光镜的聚焦参数的范围；通过所述扫描/透射电子显微镜对所述样品在所述物镜/聚光镜的聚焦参数的范围内进行变焦扫描，并生成相应的图像；将获取的所述图像分割成若干子图像；对所述子图像进行图像清晰度评价，确定清晰度最高的所述子图像并将其作为标准子图像后，将所述标准子图像所对应的所述物镜/聚光镜的聚焦参数定为所述物镜/聚光镜的最佳聚焦值；将所述物镜/聚光镜的聚焦参数设定为所述最佳聚焦值后，对所述样品进行成像。
2.根据权利要求1所述的一种适用于扫描/透射电子显微镜成像的自动聚焦方法，其特征在于，在通过所述扫描/透射电子显微镜对所述样品在所述物镜/聚光镜的聚焦参数的范围内进行变焦扫描，并生成相应的图像时，包括：保持所述样品静止，通过所述扫描/透射电子显微镜的电子束对所述样品进行行扫描和帧扫描，确定所述样品的图像特征区域；在所述样品的图像特征区域内，通过所述电子束对所述样品进行扫描成像时，保持所述样品随所述电子束在帧扫描方向同步移动，以适应不同形式的所述样品的动态聚焦。
3.根据权利要求1所述的一种适用于扫描/透射电子显微镜成像的自动聚焦方法，其特征在于，对所述子图像进行图像清晰度评价时，包括：将所述物镜/聚光镜的聚焦参数和图像清晰度评价值分别作为横坐标和纵坐标描绘成分析曲线后，通过所述分析曲线分析所述子图像的清晰度随聚焦参数变化趋势。
4.根据权利要求3所述的一种适用于扫描/透射电子显微镜成像的自动聚焦方法，其特征在于，在将所述物镜/聚光镜的聚焦参数和图像清晰度评价值分别作为横坐标和纵坐标描绘成分析曲线时，包括：将所述图像沿帧扫描方向进行等间距等宽度分割形成所述子图像；在所述子图像的宽度设定大于所述子图像的实际宽度时，使分割后的相邻的两个所述子图像之间有部分重合区域，在所述子图像的宽度设定小于所述子图像的实际宽度时，使分割后的相邻的两个所述子图像之间没有重合区域甚至有间隙区域。
5.根据权利要求1所述的一种适用于扫描/透射电子显微镜成像的自动聚焦方法，其特征在于，在对所述子图像进行图像清晰度评价，确定清晰度最高的所述子图像并将其作为标准子图像时，包括：通过图像清晰度评价函数对所述子图像进行图像清晰度进行评价，得到不同所述子图像的清晰度评价值，进而获得所述子图像的最高清晰度评价值。
6.根据权利要求5所述的一种适用于扫描/透射电子显微镜成像的自动聚焦方法，其特征在于，所述图像清晰度评价函数包括边缘梯度检测的评价函数、基于相关性原理的评价函数、基于统计原理的评价函数或基于变换的评价函数。
7.根据权利要求1所述的一种适用于扫描/透射电子显微镜成像的自动聚焦方法，其特征在于，在将获取的所述图像分割成若干子图像时，包括：将获取的所述图像沿所述物镜/聚光镜的聚焦参数变化的梯度方向进行分割，获得若干子图像。
8.根据权利要求7所述的一种适用于扫描/透射电子显微镜成像的自动聚焦方法，其特征在于，在所述图像沿所述物镜/聚光镜的聚焦参数变化的梯度方向进行分割时，扫描方向为帧扫描方向。
9.根据权利要求1至8任一项所述的一种适用于扫描/透射电子显微镜成像的自动聚焦方法，其特征在于，将所述物镜/聚光镜的聚集参数设定为所述最佳聚焦值后，还包括：将获得的所述样品的图像与所述标准子图像进行清晰度实时对比，若获得的所述样品的图像与所述标准子图像的清晰度相同或在允许偏差范围值内，则对所述样品进行成像；若获得的所述样品的图像的清晰度低于所述标准子图像的清晰度或超出了所述允许偏差范围，则对所述样品在所述物镜/聚光镜的聚焦参数的设定范围内进行变焦扫描，生成相应的变焦扫描图像，并通过分析变焦扫描图像的子图像的清晰度确定所述物镜/聚光镜的最佳聚焦值后，再将所述物镜/聚光镜的聚焦参数设定为所述物镜/聚光镜的最佳聚焦值对所述样品进行成像。
