一种检测六氟化硫分解产物的色谱仪

本实用新型公开了一种检测六氟化硫分解产物的色谱仪，它包括：电源模块与MCU控制模块连接，用于给整个色谱仪供电；热导检测模块通过A/D转换模块与MCU控制模块连接，用于检测空气和六氟化硫分解产生的四氟化碳；火焰光度检测模块通过A/D转换模块与MCU控制模块连接，用于检测六氟化硫分解产生的硫酰氟、亚硫酰氟和十氟一氧化二硫；恒温控制模块与MCU控制模块连接，用于给色谱仪提供恒定的温度。本实用新型采用热导检测器(TCD)和火焰光度检测器(FPD)串联流程，可以检测六氟化硫中的空气、四氟化碳、硫酰氟(SO2F2)、亚硫酰氟(S2OF2)十氟一氧化二硫(S2OF10)，本实用新型用热导检测器检测空气、四氟化碳；用火焰光度检测器检测SO2F2、S2OF2、S2OF10。