一种基于Plasma羟基化提升涂层抗弛豫性能的碱金属气室制作方法

1.一种基于Plasma羟基化提升涂层抗弛豫性能的碱金属气室制作方法，其特征在于：包括步骤如下：(1)挑选0.9-1.1mm的毛细玻璃管，通过聚四氟乙烯与玻璃注射器连接；(2)将高硼硅材质的碱金属气室、装有毛细玻璃管的玻璃注射器、烧杯、聚四氟乙烯磁力搅拌子置于超声波清洗机中清洗20分钟后，用超纯水漂洗几次置于电热鼓风干燥箱中进行烘干，温度设定105℃略高于水的沸点，烘干30分钟；(3)将高硼硅材质的碱金属气室置于等离子体清洗机内，设定等离子体清洗机清洗时间5min，真空度小于0.2mbar，打开真空泵对等离子清洗机进行抽气，并打开与制氧机连接的气路，对等离子清洗机进行供氧，待真空度满足设定要求，激发等离子体，对碱金属气室进行羟基化处理；(4)按照体积配置1份的三氯甲烷和4份的正己烷混合溶液作为涂层试剂的溶剂，将涂层试剂按照0.8ml/L的浓度配置涂层试剂溶液；(5)将聚四氟乙烯磁力搅拌子置于配置好的涂层试剂溶液中，对其搅拌60秒；(6)取出清洗干净的碱金属气室，送至通风橱进行镀膜操作，取出电热鼓风干燥箱中的毛细玻璃管和玻璃注射器，吸取涂层试剂溶液，将涂层试剂溶液注入碱金属气室内，将装有涂层试剂溶液的碱金属气室在大气环境下放置5分钟后采用毛细玻璃管吸出涂层试剂溶液，并用三氯甲烷对碱金属气室进行清洗；(7)将镀有涂层试剂的碱金属气室置于真空干燥箱内，设定温度200℃，加热24h，对碱金属气室涂层进行固化；(8)之后将碱金属气室接到气室制作平台的玻璃支路上，对管路抽真空处理，并用加热带加热至150℃-200℃，去除玻璃管路的杂质，用热风枪驱赶碱金属原子至碱金属泡柄内，注意驱赶碱金属原子的过程中注意热风枪不要对着碱金属气室涂层，以防破坏碱金属气室涂层，随后将碱金属气室取下；该方法采用一体化的等离子体清洗机进行羟基化处理，在对气室内壁进行羟基化处理后，无需真空烘干，即可进行镀膜操作，缩短了传统羟基化方法的时间，可以降低羟基的污染，使气室内壁的羟基更好的与涂层试剂反应，增大碱金属气室内壁抗弛豫涂层的覆盖率，提高碱金属气室的抗弛豫性能，同时简化了操作步骤，一定程度上解决了人工清洗碱金属气室所导致的一致性较差的问题，具有方便，快捷，高效，高质量的优点。 2.根据权利要求1所述的一种基于Plasma羟基化提升涂层抗弛豫性能的碱金属气室制作方法，其特征在于：所述涂层试剂为有机氯硅烷类试剂，包括Octadecyltrichlorosilane(OTS)、DTS(dodecyltrichlorosilane)或BTS(Butyltrichlorosilane)试剂。