一种CFN浓度与放电微量组分的红外检测装置及方法

本发明专利公开了一种CFN浓度与放电微量组分的红外检测装置及方法，包括：傅里叶变换红外光谱仪以及废气瓶，废弃瓶连接有真空泵，所述真空泵连接有第二开关阀，第二开关阀远离真空泵的一端连接有傅里叶变换红外光谱仪，傅里叶变换红外光谱仪另一端与PC机相连，傅里叶变换红外光谱仪靠近第二开关阀的一端连接有压力传感器，压力传感器连接有第一开关阀，第一开关阀的远离压力传感器的一端连接有采气袋，采气袋远离第一开关阀的一端连接有配气仪，配气仪分别连接有CFN气瓶、二氧化碳气瓶以及组分气瓶，傅里叶变换红外光谱仪包括能有效检测浓度与组分的长光程气体池，能够准确的对CFN放电微量组分进行定性分析。