有效

一种大量程干涉式光栅尺及其测距方法

李星辉、肖翔、倪凯、周倩、袁伟涵、陆海鸥、曾理江、王晓浩
清华大学深圳研究生院

摘要

本发明公开一种大量程干涉式光栅尺及其测距方法,包括光栅阵列和双读数头系统,光栅阵列由多个光栅单元拼接而成,双读数头系统包括一激光器、一分光器、两个读数头及数据处理单元;激光器用于发出一激光束,分光器用于对激光束进行分光,以得到用于投射到光栅阵列的第一激光束和第二激光束;两个读数头分别获取对应于第一激光束和第二激光束的实时位移读数;数据处理单元用于对两个读数头的实时位移读数进行数据处理,获得实际位移;其中,所述数据处理包括:根据单读数头各自的实时位移读数以及光栅单元之间的间距,进行间距补偿和读数头状态判断;基于读数头所处的状态,利用单读数头的实时位移读数和间距补偿结果计算所述实际位移。