有效

一种通过重复利用黑硅清洗液对硅片进行制绒的方法

赵燕、刘尧平、王燕、杜小龙、朱姚培、唐磊、蒋健、王磊
中国科学院物理研究所

专利价值洞察

基于大模型深度解析专利商业价值

解决问题

黑硅清洗液的重复利用及其在硅片制绒中的应用,降低制绒成本和废水处理成本。

达成效果

通过重复利用黑硅清洗液,有效降低了制绒成本和废水处理成本,同时减少环境污染。

主要用途

适用于硅片制绒工艺,特别在光伏行业中的硅片加工环节。

摘要

本发明公开了一种通过重复利用黑硅清洗液对硅片进行制绒的方法,包括:(1)将硅片浸入包含0.01‑200mmol/L的金属离子盐、1‑10mol/L的氢氟酸和0.1‑10mol/L的黑硅制绒液中进行制绒;(2)用去离子水清洗制绒后的硅片,吹干;(3)采用20‑80wt%的硝酸溶液清洗步骤(2)中得到的吹干后的硅片以去除沉积在硅片表面上的金属颗粒;(4)用去离子水清洗黑硅清洗液清洗后的硅片,吹干,制得具有绒面结构的硅片;和(5)重复步骤(1)至(4),直至黑硅清洗液达到使用寿命,以达到使用寿命的黑硅清洗液为原料配制黑硅制绒液。本发明方法可以简单、有效地实现黑硅清洗液特别是其中的金属离子的重复利用,降低了制绒成本和废水处理成本,绿色环保。