1.一种自整流阻变存储器,包括:下电极;其中,下电极材料包括W;阻变材料层,由所述下电极在富氧环境中进行高温退火形成,用于作为存储介质;其中,退火温度为200℃至400℃;其中,所述阻变材料层的材料包括WO x ;其中,所述阻变材料层厚度为5nm至60nm;阻挡层,形成于所述阻变材料层上;其中,阻挡层材料包括HfO 2 ;其中,所述阻挡层的厚度包括2nm,所述自整流阻变存储器上电极与下电极之间的操作电压小于5V;以及上电极,形成于所述阻挡层上,其与所述阻挡层的材料实现肖特基接触;其中,利用所述上电极和所述阻挡层的材料之间的肖特基接触,实现自整流阻变存储器的自整流。
2.根据权利要求1所述的自整流阻变存储器,所述上电极形成于阻挡层之上,包括单质W、Al、Cu、Ru、Ti、Ta,以及导电金属化合物TiN、TaN、IrO 2 、ITO、IZO中的至少一种。
3.根据权利要求1所述的自整流阻变存储器,其中,所述上电极采用Pd材料。
4.一种制备如权利要求1至3中任一项所述自整流阻变存储器的方法,包括:步骤S1,形成下电极;步骤S2,在下电极层上形成阻变材料层;步骤S3,在阻变材料层之上形成阻挡层;以及步骤S4,在阻挡层之上形成上电极,与所述阻挡层的绝缘材料实现肖特基接触。
5.根据权利要求4所述的方法,其中,所述下电极通过电子束蒸发、化学气相沉积、脉冲激光沉积、原子层沉积、溅射方法中的一种制备完成;所述阻变材料层采用热氧化的方式制备而成,采用下电极在富氧环境中进行高温退火;所述阻挡层通过电子束蒸发、化学气相沉积、脉冲激光沉积、原子层沉积、溅射方法中的一种制备完成;所述上电极通过电子束蒸发、化学气相沉积、脉冲激光沉积、原子层沉积、溅射方法中的一种制备完成。