有效

透射电镜微栅及透射电镜微栅的制备方法

丛琳、赵伟、张金、蔡裕谦、姜开利、范守善
清华大学
丛琳机构 暂无
技术领域 暂无
赵伟机构 暂无
技术领域 暂无
张金机构 暂无
技术领域 暂无
蔡裕谦机构 暂无
技术领域 暂无
姜开利机构 暂无
技术领域 暂无
范守善机构 暂无
技术领域 暂无

摘要

本发明涉及一种透射电镜微栅及透射电镜微栅的制备方法。所述透射电镜微栅包括一多孔氮化硅基底和一设置于多孔氮化硅基底表面的石墨烯层,所述多孔氮化硅基底具有多个通孔,所述石墨烯层覆盖所述多孔氮化硅基底的多个通孔并在所述多个通孔的位置悬空。所述透射电镜微栅的制备方法为利用一碳纳米管膜结构将一石墨烯层转移至一多孔氮化硅基底的表面,然后去除所述碳纳米管膜结构,从而得到一透射电镜微栅。