一种六自由度低频振动主被动隔离机械装置

本发明公开了一种六自由度低频振动主被动隔离机械装置，包括载物台、隔振单元和基座，载物台包括固定板、上连接块和关节轴承支座，三个上连接块圆周均布在固定板上，每个上连接块连接两个关节轴承支座，基座的组成和连接方式与载物台相同，隔振单元的两端分别连接载物台和基座的一个关节轴承支座；隔振单元的被动隔振部分包括T形块、支撑弹簧、二力杆、杠杆和横向弹簧，主动隔振部分包括加速度传感器、电机驱动杆、电机安装筒、线圈、磁铁系统和外部驱动控制系统。电机驱动杆的一端固定有加速度传感器，其信号作为负反馈积分放大后得到电机力。本发明有效解决被动隔振中阻尼系数在高频与低频之间选择的矛盾，结构简单，零部件少，便于加工制造。