一种多自由度的音圈隔振抑振结构及其控制方法

本发明涉及一种多自由度音圈隔振抑振结构及其控制方法，以两个作动器组成隔振抑振结构，将安装平台和基座串联起来，每个作动器由两个音圈电机与两片膜簧组成；当启用上音圈电机时，可以在安装平台与作动器的过渡平台之间提供一个负刚度，与下部膜簧的正刚度串联起来，理论上可以使结构整体刚度趋于无穷大，从而抑制安装平台带来的直接干扰；当启动下音圈电机时，提供一个可变阻尼，使基座振动在传递到作动器过渡平台时就得到良好的隔离，减弱甚至消除由下部膜簧柔性引起的低频共振，从而大幅削弱基座宽带振动对安装平台上高精密设备的影响。