失效
一种具有条纹对比度自动调节功能的长焦距测量装置
摘要
本发明公开了一种具有条纹对比度自动调节功能的长焦距测量装置,其方案为:光纤激光器(1)出射标准球面波经准直物镜(2)后产生标准平面波前;被测元件(3)放置在准直物镜(2)和主尺光栅(4)之间,标准平面波前经过被测系统后携带被测系统(3)的焦距信息,然后依次经过栅线之间存在很小角度的主尺光栅(4)和基尺光栅(6),在旋转毛玻璃(7)上形成莫尔条纹;由CCD传感器(8)采集莫尔条纹传输给计算机(9),计算机对采集的莫尔条纹处理后即可得到被测元件焦距。本发明结构简单、莫尔条纹质量号、自动化程度和系统测量精度均很高,可以用于长焦距的高精确自动化测量。
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