有效

OLED器件和用于在显示器件上形成封装结构的方法

J·J·陈
应用材料公司
J
J·J·陈机构 暂无
技术领域 暂无

摘要

本发明公开了用于形成OLED器件的方法。将具有有机缓冲层夹在阻挡层之间的封装结构沉积在OLED结构上。所述缓冲层是利用含氟等离子体形成。随后,将所述第二阻挡层沉积在所述缓冲层上。另外,为了确保良好的粘附性,在所述缓冲层与第一阻挡层之间形成缓冲粘附层。最后,为了确保良好的透射率,将应力减少层沉积在所述缓冲层与所述第二阻挡层之间。

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