有效

一种阻变存储器的制造方法和阻变存储器

龙世兵、张美芸、许晓欣、刘琦、吕杭炳、刘明
中国科学院微电子研究所
龙世兵机构 暂无
技术领域 暂无
张美芸机构 暂无
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许晓欣机构 暂无
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刘琦机构 暂无
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吕杭炳机构 暂无
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刘明机构 暂无
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摘要

本发明公开了一种阻变存储器的制造方法和阻变存储器,包括:提供第一衬底,并刻蚀出孔洞,沿第一衬底刻蚀有孔洞的表面往内的方向,孔洞的尺寸递减;沉积第一金属薄膜,第一金属薄膜为活性金属薄膜;在所述第一金属薄膜上生长环氧层和设置第二衬底;分离所述第一衬底和所述第一金属薄膜,其中,所述第一金属薄膜上形成有与所述孔洞对应的锥状结构;在所述第一金属薄膜上依次沉积氧化物阻变层材料和第二金属薄膜,以所述第一金属薄膜作为所述存储器的下电极,以所述第二金属薄膜作为所述存储器的上电极。本发明提供的方法,用以解决现有技术中阻变存储器存在的功耗高的技术问题。实现了降低阻变存储器工作电压和功耗的技术效果。