有效

纳米带的制备方法

陈墨、张立辉、李群庆、范守善
清华大学
陈墨机构 暂无
技术领域 暂无
张立辉机构 暂无
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李群庆机构 暂无
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范守善机构 暂无
技术领域 暂无

摘要

本发明涉及一种纳米带的制备方法,包括以下步骤:提供一基板,在基板表面设置一半导体薄膜,在半导体薄膜表面设置间隔的条状掩模块,厚度为H,间隔距离为L;向半导体薄膜表面沉积第一薄膜层,第一薄模层的厚度为D,沉积方向与条状掩模块的厚度方向夹角为θ<Sub>1</Sub>,且θ<Sub>1</Sub>&lt;tan<Sup>‑1</Sup>(L/H);改变沉积方向,向半导体薄膜表面沉积第二薄膜层,沉积方向与条状掩模块的厚度方向夹角为θ<Sub>2</Sub>,θ<Sub>2</Sub>&lt;tan‑1[L/(H+D)],使得0&lt;L‑Htanθ<Sub>1</Sub>‑(H+D)tanθ<Sub>2</Sub>&lt;10nm,第一薄膜层与第二薄膜层部分重叠,重叠区域为纳米级条带;干法刻蚀第一薄膜层及第二薄膜层,得到一纳米微结构;刻蚀所述半导体薄膜,得到一纳米带。