有效

薄膜晶体管的制备方法

陈墨、张立辉、李群庆、范守善
清华大学
陈墨机构 暂无
技术领域 暂无
张立辉机构 暂无
技术领域 暂无
李群庆机构 暂无
技术领域 暂无
范守善机构 暂无
技术领域 暂无

摘要

本发明涉及一种薄膜晶体管的制备方法,包括以下步骤:提供一基板,在基板的表面依次设置一栅极,一栅极绝缘层,一半导体层;在半导体层表面设置间隔的两掩模块,厚度为H,间隔距离为L;向基板表面沉积一第一导电薄膜层,厚度为D,并使得沉积方向与条状掩模块的厚度方向夹角为θ<Sub>1</Sub>,且θ<Sub>1</Sub>&lt;tan<Sup>‑1</Sup>(L/H);改变沉积方向,向基板表面沉积一第二导电薄膜层,使得沉积方向与条状掩模块的厚度方向夹角为θ<Sub>2</Sub>,θ<Sub>2</Sub>&lt;tan‑1[L/(H+D)],并使得0&lt;Htanθ<Sub>1</Sub>+(H+D)tanθ<Sub>2</Sub>‑L&lt;10nm,该第一导电薄膜层与第二导电薄膜层的间隔区域为纳米级沟道,第一导电薄膜层和第二导电薄膜层即作为一源极、一漏极。