有效

薄膜晶体管

王江涛、柳鹏、姜开利、范守善
清华大学
王江涛机构 暂无
技术领域 暂无
柳鹏机构 暂无
技术领域 暂无
姜开利机构 暂无
技术领域 暂无
范守善机构 暂无
技术领域 暂无

摘要

本发明涉及一种薄膜晶体管,其包括:一绝缘基底;一栅极,所述栅极设置于所述绝缘基底的表面;一栅极绝缘层,所述栅极绝缘层设置于所述栅极远离绝缘基底的表面;一碳纳米管结构,该碳纳米管结构设置于所述栅极绝缘层远离栅极的表面;其中,该碳纳米管结构包括至少一根碳纳米管,该碳纳米管包括一半导体性碳纳米管片段以及分别与该半导体性碳纳米管片段的两端连接的两个金属性碳纳米管片段,该两个金属性碳纳米管片段分别作为源极、漏极,该半导体性碳纳米管片段作为沟道。