有效

一种纳米器件的制备方法

朱振东、李群庆、范守善
清华大学
朱振东机构 暂无
技术领域 暂无
李群庆机构 暂无
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范守善机构 暂无
技术领域 暂无

摘要

一种纳米器件的制备方法,包括:提供一第一基底;在所述第一基底表面沉积一金属膜,并对所述金属膜进行退火处理使其在该第一基底表面形成金属海岛结构;在形成有金属海岛结构的所述第一基底的表面铺设金属纳米球,所述第一基底、所述金属海岛结构及所述金属纳米球形成一复合结构,将所述复合结构铺设有金属纳米球的表面定义为第一表面,并烘烤所述复合结构;在所述复合结构的第一表面形成一光刻胶层;提供一第二基底,在所述第二基底表面形成一脱模剂层;及在真空环境下,将所述复合结构表面的光刻胶层和所述第二基底表面的脱模剂层压合在一起,分阶段升温,并在各个阶段对所述第一基底和所述第二基底施加电压,在第一基底表面形成分形纳米结构。