一种载液板及其制造方法以及磁性复合流体抛光头装置

本发明提供一种载液板及其制造方法，还提供一种磁性复合流体抛光头装置。本发明提供的载液板具有多个正四面体凹槽单元，载液板由基板、附板Ⅰ、附板Ⅱ、附板Ⅲ以及附板Ⅳ层层叠加而组成，基板、附板Ⅰ、附板Ⅱ、附板Ⅲ以及附板Ⅳ上具有凹槽或通孔，凹槽和通孔相匹配共同构成正四面体凹槽单元。本发明提供的磁性复合流体抛光头装置包括：磁铁旋转部以及载液板旋转部，磁铁旋转部包含：第一驱动电机、主轴、磁铁盘以及永久磁铁；载液板旋转部包含：第二驱动电机、V型带轮、V带、连接支架以及载液板，其中，载液板为上述的载液板。本发明提供的磁性复合流体抛光头装置结构简单，材料去除效率高，适用的磁性簇尺寸范围广等特点。