三维微纳米非接触触发探头以及MEMS器件测量装置

本发明涉及MEMS器件测量技术领域，具体是涉及一种三维微纳米非接触触发探头以及MEMS器件测量装置，探头由可视化模块和测量模块构成，可视化模块由白光LED、第一准直透镜、非偏振分光棱镜、偏振分光棱镜、第二准直透镜、聚焦透镜、偏振片、场透镜和CCD相机组成；测量模块由激光器、光栅、偏振分光棱镜及四分之一波片、圆柱透镜、光电集成电路和四象限传感器组成。探头基于深紫外光源以及象散原理和激光反射能量法，该探头在三轴方向的分辨率均达到1nm，触发重复性均小于30nm，以满足MEMS器件测量的需要，尤其擅长测量带有精细边缘特征的器件。同时具有体积小、精度高、调试简单、装配方便、造价低等优点。