有效

导电桥半导体器件及其制备方法

刘琦、赵晓龙、刘森、刘明、吕杭炳、龙世兵、王艳、伍法才
中国科学院微电子研究所
刘琦机构 暂无
技术领域 暂无
赵晓龙机构 暂无
技术领域 暂无
刘森机构 暂无
技术领域 暂无
刘明机构 暂无
技术领域 暂无
吕杭炳机构 暂无
技术领域 暂无
龙世兵机构 暂无
技术领域 暂无
王艳机构 暂无
技术领域 暂无
伍法才机构 暂无
技术领域 暂无

摘要

本发明提供了一种导电桥半导体器件及其制备方法。该导电桥半导体器件自下而上包括:下电极、阻变功能层、离子阻挡层和活性上电极,其中,离子阻挡层上开设有供活性导电离子通过的孔洞。基于此结构可以制备导电桥阻变存储器以及导电桥选择器,通过调控离子阻挡层孔洞的数量、直径及密度,实现对基于导电桥的存储器与选择器的导电通路的精确调控。