一种基于单电子晶体管的电离式气敏传感器

一种基于单电子晶体管的电离式气敏传感器，以阳极、阴极和库仑岛为气敏传感器的基本结构，阳极、阴极和库仑岛设置在硅基片表面形成的二氧化硅衬底上，库仑岛位于阳极和阴极之间，且库仑岛与阳极和阴极之间的距离是非对称的。本实用新型大大提高了电极间的电场强度，阳极和阴极更易于发生场发射，器件结构简单，加工工艺成熟易行，器件尺寸和功耗大大降低，探测灵敏度显著提高。