一种SF混合气体等离子体光谱测量装置

一种SF混合气体等离子体光谱测量装置，由SF混合气体充放与回收装置、SF混合气体电弧等离子体产生装置和光谱检测装置组成，其中SF混合气体充放与回收装置包括两个分别存放SF气体和另一种气体的高压气瓶、混合气体储气罐、压缩机、过滤吸收装置、真空泵和气体连接管路，两个高压气瓶分别与混合气体储气罐的两个进气口相连，混合气体储气罐通过气体连接管路分别连接压缩机和真空泵；SF混合气体电弧等离子体产生装置包括两个电极、密封气室、调压器、变压器、水电阻和连接线路，两个电极分别从密封气室的上下端插入，并与水电阻、变压器和连接线路串联构成回路，密封气室通过气体管路分别连接真空泵和压缩机。