有效

一种薄膜晶体管及其制备方法

赵宇丹、霍雨佳、肖小阳、王营城、张天夫、金元浩、李群庆、范守善
清华大学
赵宇丹机构 暂无
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霍雨佳机构 暂无
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肖小阳机构 暂无
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王营城机构 暂无
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张天夫机构 暂无
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金元浩机构 暂无
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李群庆机构 暂无
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范守善机构 暂无
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摘要

本发明涉及一种薄膜晶体管及其制备方法。该薄膜晶体管包括;一基底;一栅极,所述栅极设置于所述基底的一表面;一电介质层,所述电介质层设置于所述基底上且将所述栅极覆盖;一半导体层,所述半导体层设置于所述电介质层远离所述基底的表面,且所述半导体层包括多个纳米半导体材料;一源极和一漏极,所述源极和漏极间隔设置于所述电介质层远离所述基底的一侧,且分别与所述半导体层电连接;其中,所述电介质层为采用磁控溅射法制备的氧化物层,且与所述栅极直接接触。本发明的薄膜晶体管具有反常迟滞曲线。