一种高精度激光发散角参数标定装置

本发明公开了一种高精度激光发散角参数标定装置，待测激光(1)经平晶(3)和分光镜(2)反射后经透镜(6)聚焦，汇聚光经分束镜(7)后分为透射和反射两条测试光路，当聚焦光斑不超过CCD相机(8)光敏面时，测试光路为透射光路，CCD相机(8)位于透镜焦面位置，利用公式(2)计算出焦斑直径；反之，测试光路为反射光路，毛玻璃屏(9)位于透镜焦面位置，成像系统(10)对毛玻璃屏(9)上光斑成像，利用公式(2)计算出焦斑直径。代入已标定参数fn，利用公式(3)计算出待测激光发散角；根据建立的弥散斑模型库，对采集焦斑进行弥散斑扩散叠加，评估出透镜(6)像差及光路失调引入的测量不确定度。