便携式轮廓仪及轮廓扫描显微镜和系统

本发明公开了一种便携式轮廓仪及轮廓扫描显微镜和系统，轮廓仪包括三轴压电陶瓷扫描管，其由X、Y和Z方向压电陶瓷驱动器构成；每一压电陶瓷驱动器包括柔性放大机构和压电陶瓷，柔性放大机构具有固定端和运动端，且被设置为使得运动端产生对压电陶瓷的变形进行放大的直线位移；X、Y、Z方向压电陶瓷驱动器及电容差分传感器依次串联连接，且X、Y、Z方向压电陶瓷驱动器分别在使得对应运动端沿X、Y、Z方向产生直线位移的方位上设置；电容差分传感器包括目标件、探针和两个感应件，探针沿Z方向与目标件固连，两个感应件各自与目标件组成一个单极电容。该轮廓仪具有体积小、成本低且分辨率高的优点。