有效

翘板式电容差分传感器及传感系统

林立、叶际隆、孙陶陶、郑泉水
清华大学
林立机构 暂无
技术领域 暂无
叶际隆机构 暂无
技术领域 暂无
孙陶陶机构 暂无
技术领域 暂无
郑泉水机构 暂无
技术领域 暂无

摘要

本发明公开了一种翘板式电容差分传感器及传感系统,该传感器包括:目标件、探针和两个感应件,探针与目标件固连,目标件连接在转动连接部上,转动连接部与两个感应件限制相对移动地固定连接,以将以上各组件连接形成一个结构整体;该结构整体通过两个感应件各自与目标件形成一个单极电容;该结构整体被设置为使得目标件在接收到作用力时绕转动连接部转动至对应的平衡位置,且转动使得两个单极电容的极板间距发生大小相等、且方向相反的变化,以输出差分信号。本发明传感器的结构可以实现高分辨率以满足微操作领域的要求,而且结构简单,易于加工制造。