有效

薄膜晶体管的制备方法

李东琦、魏洋、姜开利、范守善
清华大学
李东琦机构 暂无
技术领域 暂无
魏洋机构 暂无
技术领域 暂无
姜开利机构 暂无
技术领域 暂无
范守善机构 暂无
技术领域 暂无

摘要

一种薄膜晶体管的制备方法,包括以下步骤:提供一栅极,在所述栅极的表面设置一绝缘层;提供一碳纳米管膜,铺设该碳纳米管膜于一所述绝缘层表面;将所述碳纳米管膜置于扫描电镜下拍摄照片,区分该碳纳米管膜中的金属型碳纳米管和半导体型碳纳米管;除去碳纳米管膜中的金属型碳纳米管,形成一半导体层;间隔形成一源极及一漏极,并使该源极及漏极与所述半导体层电连接,得到一薄膜晶体管。