基于石墨烯量子点的THz单光子探测器及其制备方法

一种基于石墨烯量子点的THz单光子探测器及其制备方法，采用石墨烯单量子点或者串联石墨烯双量子点与纳米条带石墨烯静电计相耦合的基本结构，以硅基片、源极、漏极、侧栅极、背栅极、库仑岛、静电计和保护层为基本组成单元，将源极、漏极、侧栅极、库仑岛和静电计集成设置在硅基片表面形成的二氧化硅衬底上，将背栅极设置在硅基片的硅衬底上，其中，石墨烯单量子点或者串联石墨烯双量子点作为THz单光子探测器的库仑岛，库仑岛位于源极、漏极和侧栅极之间，库仑岛附近集成一个石墨烯纳米条带作为石墨烯静电计；库仑岛与源极和漏极以隧道结的形式耦合，库仑岛与侧栅极、背栅极和石墨烯静电计以电容的形式耦合。本发明克服了现有制备方法中，工艺难度大和灵敏度低的问题。