1.一种用于单分子检测的分子载体的制备方法,该方法包括以下步骤:提供一基板;提供一具有多个微孔的碳纳米管复合结构,该碳纳米管复合结构包括一碳纳米管结构以及一包覆于该碳纳米管结构表面的预制层,且该碳纳米管结构包括多个交叉设置的碳纳米管;将所述碳纳米管复合结构设置于所述基板的表面,从而使的所述基板的表面部分暴露;以该碳纳米管复合结构为掩模干法刻蚀所述基板,从而的到一具有图案化的凸起的基板,且该图案化的凸起包括多个凸条交叉设置形成网状结构,从而定义多个孔洞;以及在所述图案化的凸起上沉积一金属层,在所述图案化的凸起上沉积金属层时,保留所述碳纳米管复合结构在该图案化的凸起上,从而使所述金属层将所述图案化的凸起和所述碳纳米管复合结构全部覆盖,从而得到该用于单分子检测的分子载体。
2.如权利要求1所述的分子载体的制备方法,其特征在于,所述多个交叉设置的碳纳米管通过范德华力紧密连接从而使该碳纳米管复合结构形成一自支撑结构。
3.如权利要求1所述的分子载体的制备方法,其特征在于,所述碳纳米管结构包括多个层叠设置的碳纳米管膜;该碳纳米管膜中的碳纳米管平行于所述碳纳米管膜的表面且沿同一方向择优取向延伸,在延伸方向上相邻的碳纳米管通过范德华力首尾相连;且相邻的两个碳纳米管膜中碳纳米管的延伸方向成一α角度,0°<α≤90°。
4.如权利要求1所述的分子载体的制备方法,其特征在于,所述预制层包覆于每个碳纳米管的整个表面,且所述预制层的厚度为3纳米~20纳米。
5.如权利要求1所述的分子载体的制备方法,其特征在于,所述预制层的材料为金属、金属氧化物、金属硫化物、非金属氧化物、非金属碳化物以及非金属氮化物中的一种或多种。
6.如权利要求1所述的分子载体的制备方法,其特征在于,所述干法刻蚀所述基板的方法为等离子刻蚀或反应性离子刻蚀。
7.如权利要求1所述的分子载体的制备方法,其特征在于,所述金属层的材料为金、银、铂、铜、铁以及铝中的一种或多种。
8.一种用于单分子检测的分子载体的制备方法,该方法包括以下步骤:提供一基板;提供一具有多个微孔的碳纳米管复合结构,该碳纳米管复合结构包括一碳纳米管结构以及一包覆于该碳纳米管结构表面的预制层,且该碳纳米管结构包括多个交叉设置的碳纳米管;将所述碳纳米管复合结构设置于所述基板的表面,从而使的所述基板的表面部分暴露;以该碳纳米管复合结构为掩模干法刻蚀所述基板,从而的到一具有图案化的凸起的基板,且该图案化的凸起包括多个凸条交叉设置形成网状结构,从而定义多个孔洞;在所述图案化的凸起上沉积一金属层,在所述图案化的凸起上沉积金属层时,保留所述碳纳米管复合结构在该图案化的凸起上,从而使所述金属层将所述图案化的凸起和所述碳纳米管复合结构全部覆盖;以及在所述图案化的凸起上沉积金属层之后去除所述碳纳米管复合结构,从而使所述金属层形成一不连续的层状结构,从而得到该用于单分子检测的分子载体。