有效

半导体器件

张金、魏洋、姜开利、范守善
清华大学
张金机构 暂无
技术领域 暂无
魏洋机构 暂无
技术领域 暂无
姜开利机构 暂无
技术领域 暂无
范守善机构 暂无
技术领域 暂无

摘要

一种半导体器件,包括一纳米异质结构、一第一电极、一第二电极、一第三电极以及一第四电极,第一电极通过一绝缘层与第二电极、第三电极、第四电极以及纳米异质结构电绝缘;第二电极、第三电极、第四电极与纳米异质结构电连接,所述纳米异质结构包括一第一金属性碳纳米管,一半导体性碳纳米管,一半导体层以及一第二金属性碳纳米管,所述半导体层包括一第一表面以及一相对的第二表面,第一金属性碳纳米管和半导体性碳纳米管平行间隔设置于第一表面,第二金属性碳纳米管设置于第二表面;第一金属性碳纳米管和所述半导体性碳纳米管朝第一方向延伸,第二金属性碳纳米管朝第二方向延伸,第二方向和第一方向形成一夹角,该夹角大于0度小于等于90度。