有效

纳米异质结构的制备方法

张金、魏洋、姜开利、范守善
清华大学
张金机构 暂无
技术领域 暂无
魏洋机构 暂无
技术领域 暂无
姜开利机构 暂无
技术领域 暂无
范守善机构 暂无
技术领域 暂无

摘要

一种纳米异质结构的制备方法,包括:提供一支撑结构,在支撑结构上形成一第一碳纳米管层,该第一碳纳米管层包括多个第一碳纳米管;在所述第一碳纳米管层上形成一半导体层;覆盖一第二碳纳米管层于所述半导体层上,该第二碳纳米管层包括多个第二碳纳米管;在所述第一碳纳米管层中找出平行且间隔设置的一个第一金属性碳纳米管和一个半导体性碳纳米管,标识该第一金属性碳纳米管和半导体性碳纳米管,在第二碳纳米管层中找出一个第二金属性碳纳米管,该第二金属性碳纳米管的延伸方向与所述第一金属性碳纳米管和半导体性碳纳米管的延伸方向交叉,标识该第二金属性碳纳米管,将其余的第一碳纳米管和第二碳纳米管刻蚀去除;以及将上述结构进行退火处理。