有效

有机薄膜晶体管制备方法和制备装置

魏洋、范守善
清华大学
魏洋机构 暂无
技术领域 暂无
范守善机构 暂无
技术领域 暂无

摘要

本发明提供一种有机薄膜晶体管的制备方法,包括在绝缘基底上制备有机半导体层、源极、漏极、栅极及绝缘层的步骤,该制备有机半导体层的步骤包括:提供一蒸发源,该蒸发源包括碳纳米管膜结构及有机半导体层源材料,该碳纳米管膜结构为一载体,该有机半导体层源材料设置在该碳纳米管膜结构表面,通过该碳纳米管膜结构承载,该有机半导体层源材料为该有机半导体层的材料或者用于形成该有机半导体层的前驱体,该前驱体在蒸镀的过程中反应生成该有机半导体层;以及将该蒸发源与绝缘基底相对且间隔设置,并向该碳纳米管膜结构输入电磁波信号或电信号,使该有机半导体层源材料蒸发,在该绝缘基底上蒸镀形成有机半导体层。本发明还提供一种有机薄膜晶体管的制备装置。