有效
有机薄膜制备装置和制备方法
魏
魏洋机构 暂无
范
范守善机构 暂无
摘要
本发明提供一种有机薄膜制备装置,包括蒸发源及待镀基底,该蒸发源及待镀基底设置在该非真空环境中,该蒸发源包括蒸发材料、碳纳米管膜结构及加热装置,其中:该加热装置包括第一电极及第二电极,该第一电极及第二电极相互间隔并分别与该碳纳米管膜结构电连接;或者该加热装置包括电磁波信号输入装置,该电磁波信号输入装置能够向该碳纳米管膜结构输入一电磁波信号;该碳纳米管膜结构为一载体,该蒸发材料设置在该碳纳米管膜结构表面,通过该碳纳米管膜结构承载,该待镀基底与该碳纳米管膜结构相对且间隔设置。本发明还涉及一种有机薄膜制备方法。



