有效

图案化薄膜真空蒸镀装置及方法

魏洋、范守善
清华大学
魏洋机构 暂无
技术领域 暂无
范守善机构 暂无
技术领域 暂无

摘要

本发明提供一种图案化薄膜的真空蒸镀装置,包括真空室、待镀基底、蒸发源条带、激光源及栅网,该蒸发源条带包括蒸发材料及碳纳米管膜结构,该碳纳米管膜结构为一载体,该蒸发材料设置在该碳纳米管膜结构表面。该栅网包括相对的第一表面及第二表面,该第一表面与该激光源相对且间隔设置,该蒸发源条带能够沿长度方向通过该激光源与该栅网之间,该栅网的第二表面与该待镀基底相对设置,该蒸发源条带通过该激光源与该栅网之间的部分与该待镀基底平行且间隔设置,该蒸发源条带、待镀基底、激光源及栅网均设置在该真空室中。本发明还提供一种图案化薄膜的真空蒸镀方法。