一种高洁净度超高温水蒸汽反应炉装置

本实用新型涉及一种高洁净度超高温水蒸汽反应炉装置，包括氩气瓶、石英水蒸汽发生器、石英管式炉、石英螺旋管、加热装置；在氩气瓶的出气管上安装有流量调节阀和压力阀，压力阀与第一流量计相连，第一流量计与三通管相连；三通管通过石英水蒸汽管与石英球头管相连，石英球头管与石英水蒸汽发生器活动连接，三通管的另一端通过石英氩气管与第二流量计的输入端相连；石英螺旋管放置在石英管式炉内，第二流量计的输出端与进气段相通；加热装置位于石英管式炉的外侧用于对石英管式炉进行加热，并在加热装置内设置有多个加热线圈；石英管式炉的一侧设置有出气管，且出气管的出气口向下。该反应炉装置耐高温、操作方便，制造成本低。