一种基于机械-电光复合偏转的激光振镜及其偏转方法

本发明公开了一种基于机械-电光复合偏转的激光振镜及其偏转方法，包括：机械偏转器、电光偏转器、2个驱动电路、激光器和同步机，所述激光器、机械偏转器和电光偏转器按照激光的传输路径依次排列，其中1个所述驱动电路与所述机械偏转器连接，另1个所述驱动电路与所述电光偏转器连接，所述激光器和2个所述驱动电路分别与同步机连接，本发明将机械偏转器偏转角度大和电光偏转器响应速度快的优点相结合，两者协同大大提高了激光振镜的扫描速度，提高激光加工效率。