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一种钛铝锆铌/氮化钛铝锆铌四元氮梯度膜的制备方法
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摘要
一种钛铝锆铌/氮化钛铝锆铌四元氮梯度膜的制备方法，其方法包括：1、沉积技术的确定；2、靶材成分的选用；3、工件的选择与预处理工艺；4、预轰击工艺；5、沉积工艺；6、加热冷却工艺；7、工件旋转工艺。本发明不仅增强了薄膜的硬度、耐磨性能及薄膜与基体间的结合力，而且极大改善了薄膜的抗高温氧化性能，其切削刀具适合在极其恶劣的切削环境下使用。
申请人
沈阳大学
第一发明人
赵时璐
著录信息
20150414
20150624
申请日
首次公开日
授权(公告日)
维持时间：年
预估到期：
申请号
201510173094
申请日
20150414
公开(公告)号
CN104726823A@FMGK20150624
当前申请(专利权)人
沈阳大学
公开(公告)日
20150624
原始申请(专利权)人
沈阳大学
原始申请(专利权)人地址
110044 辽宁省沈阳市大东区望花南街21号
发明(设计)人
赵时璐、张钧、张震、王双红、张正贵
代理人
戚羽
代理机构
沈阳东大知识产权代理有限公司
IPC分类号
C23C14/06
C23C14/46
基本信息
法律信息
引用信息
