一种基于PMMA的碳质电极制备方法

本发明涉及一种基于PMMA的碳质电极制备方法，包括以下制备步骤：(1)通过匀胶工艺将PMMA溶液均匀覆盖在待做电极的基板表面，并烘干固化形成覆盖于基板表面的PMMA薄膜；(2)在基板所需要制备电极的位置并根据电极的形状，利用电子束曝光设备对覆盖有PMMA薄膜的基板进行电子束辐照，辐照剂量需要足以使得PMMA变性，即由正胶特性转变为负胶特性；优选电子束能量大于5keV；(3)将经过上述（2）处理的整个基板在真空或者惰性气体的保护下进行高温退火处理，优选退火温度大于400℃。本发明具有良好的兼容性；极大地简化了电极制备工序、减少了设备投入、节约了制备成本；对基板破坏更小，制备的电极导电性能更优异；与传统的金属材质一起，丰富了电极材料的可选择性。