一种集成电路厂房内的精密仪器隔振结构

本实用新型公开一种集成电路厂房内的精密仪器隔振结构，包括台座、供气系统、高度控制系统、空气弹簧、阻尼器，所述空气弹簧位于所述台座之下，供气系统的输出端与高度控制系统的输入端相连，高度控制系统的输出端与空气弹簧相连，阻尼器设置在空气弹簧之下，由所述的空气弹簧与所述的阻尼器串联支撑所述的台座。它具有结构简单合理、隔振效果好的特点，通过采取空气弹簧与阻尼器的双重隔振，隔振效果更好，承载能力更强。