一种射频大功率耦合器

本实用新型涉及一种粒子加速器射频技术领域，尤其是涉及一种射频大功率耦合器。其采用碗状陶瓷窗结构及合理的生产工艺，很好的解决了耦合器传输线阻抗匹配问题，内外导体均采用无氧铜材做成圆筒型结构，并设有冷却通道，外导体由多条轴向水路组成循环冷却，内导体为单一冷却水路与外导体回路串联。碗状陶瓷窗采用特殊焊接工艺将过渡金属法兰与陶瓷焊接而成，形成大气与真空的隔离与内外导体间的绝缘，并在其内外径方向设置冷却回路，在陶瓷窗内表面镀氮化钛涂层防止二次电子发射引发的热量。其碗状陶瓷窗结构受力较好，且传输线阻抗没有突变问题，能很好的解决了阻抗匹配问题，使高频功率传输效率更高发热更小，在同等功率等级下结构更加紧凑。