用于实时监测SF分解气体中HS光谱的装置

用于实时监测SF分解气体中HS光谱的装置，属于光电技术检测领域。本实用新型是为了解决在SF分解气体测量时，不能够实时监测分解气体中的HS气体光谱的问题。本实用新型所述的用于实时监测SF分解气体中HS光谱的装置，采用氘光源作为光源，利用HS气体在190nm-200nm光谱下产生特征吸收峰的特点，将氘光源产生的光穿过待检测的SF分解气体，通过光谱仪采集光谱数据，能够直观的获得SF分解气体中HS气体的光谱，从而达到实时监测的目的；同时还能够根据该光谱值通过比尔定律获得HS气体的浓度。本实用新型适用于对SF的分解气体进行实时监测。