一种压阻式加速度传感器及其制造方法

本发明提供了一种压阻式加速度传感器及其制造方法，属于传感器领域的加速度传感器装置。包括支撑边框1、弹性悬梁臂2、压敏电阻3、质量块4、玻璃基底6和玻璃盖板7，其特征在于，所述弹性悬梁臂2为蛇形的弹性悬梁臂，所述质量块上设有阵列排布的阻尼孔5。本发明压阻式加速度传感器中的弹性悬梁臂采用蛇形结构，可以使弹性悬梁臂的梁的长度更长，对加速度的响应更灵敏，可以有效增加传感器的灵敏度；质量块上设有阻尼孔，能有效降低空气阻力的影响，保证精确度，同时使传感器对于封装的真空度要求降低，降低生产成本。