有效

对RRAM存储器耐久性参数进行测试的方法

龙世兵、王国明、张美芸、李阳、许晓欣、刘红涛、吕杭炳、刘琦、刘明
中国科学院微电子研究所
龙世兵机构 暂无
技术领域 暂无
王国明机构 暂无
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张美芸机构 暂无
技术领域 暂无
李阳机构 暂无
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许晓欣机构 暂无
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刘红涛机构 暂无
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吕杭炳机构 暂无
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刘琦机构 暂无
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摘要

本发明公开了一种对RRAM存储器耐久性参数进行测试的方法,该方法包括:判断RRAM存储器当前所处的状态,以确定起始向RRAM存储器加载的脉冲是编程脉冲还是擦除脉冲;连续交替的向RRAM存储器加载编程脉冲和擦除脉冲,并在向RRAM存储器加载了10^L次编程脉冲和擦除脉冲后测试RRAM存储器的状态是否失效,在RRAM存储器失效时记录最后使RRAM器件失效的加载编程脉冲和擦除脉冲次数10^L,即得到耐久性参数为10^L次,其中L=n‑1,n为自然数。利用本发明,极大加快了待测器件耐久性参数的获取。