一种测量SF分解物中SO气体光谱的装置及利用该装置获得SO气体浓度的方法

一种测量SF分解物中SO气体光谱的装置及利用该装置获得SO气体浓度的方法，属于光电技术检测技术领域。解决了现有测量SF分解物中SO气体的方法仍然存在不能实时监测，设备昂贵的问题，本发明的氘灯发出的光束入射至一号聚光镜，经一号聚光镜准直后的平行光垂直入射样品池，经过装有SF分解物混合气体的样品池后的平行光束入射至二号聚光镜，经二号聚光镜聚焦后入射至光谱仪的探测器上，采集待测混合气体的光谱；截取混合气体的光谱中波长为200nm-230nm的谱线做平滑处理，获得SO气体的光谱数据I；利用获得的光谱数据I与获得的光谱数据I计算待测SO气体浓度。本发明用于测量SF分解物中SO气体。