失效
测量SF分解气体中SOF浓度的方法
摘要
测量SF分解气体中SOF浓度的方法,属于光电技术检测技术领域。本发明是为了解决在SF分解气体测量时,测得的SF分解气体中SOF气体浓度的精度低的问题。本发明所述的测量SF分解气体中SOF浓度的方法,首先获得大气的光谱和SF分解气体的光谱,然后依据比尔定律最终获得待测SOF气体浓度,该方法简化了数据处理过程,从而使SOF气体浓度的精度提高了50%。本发明所述的测量SF分解气体中SOF浓度的方法,适用于对SF分解气体中的SOF气体进行浓度测量。
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